精密洗浄
成膜装置の剥離・表面処理・精密洗浄を行うとともに、
剥離した有価金属も同時に回収します。
PVD、CVD、エッチング装置など各種成膜装置、真空装置関連の治具洗浄を行っています。化学剥離を基本とした薬液洗浄を行い、剥離・表面処理・最終洗浄を実施。薄板・複雑な形状にも対応した処理を行うことで、機械剥離、電解剥離よりも母材へのダメージを少なく処理することができ、また、治具の洗浄と同時に剥離した有価金属を回収し、ご要望に応じ成膜材料へ加工して返却しています。徹底した精密洗浄と短納期でお客さまの生産ラインにおけるコスト削減と品質管理を実現し、生産性の向上に貢献しています。
洗浄方法
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サンドブラスト
機械剥離としてブラスト処理も対応します。
膜剥がれ防止として表面の粗さを必要とする治具に有効です。
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ドライアイスブラスト
パーティクルを効率的に除去します。
※サンドブラスト残留物などの除去にも対応可能です。